SJ6000高穩定性激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數;位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場景下有著各自的優勢和適用性。
SJ6000高精度激光干涉儀測量系統集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000激光切割機精度激光干涉校準儀采用進口高穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技術、多參數環境補償技術、高速數字信號處理系統等技術,通過與不同的光學鏡組結合,實現對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度0.5ppm,激光穩頻精度:0.05ppm。
SJ6000激光干涉機床校準儀集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。產品結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000位移加速度激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
SJ6000機床導軌三坐標激光干涉測量儀集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。